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- 詳細(xì)介紹
ES500是我公司推出的一款釹鐵硼材料表面鍍鋁設(shè)備,傳統(tǒng)的鋁鐵硼材料鍍鋁來防腐蝕,一般都是通過水電鍍的方式處理,水電鍍的主要問題是質(zhì)量不可靠、生產(chǎn)過程中對(duì)環(huán)境的污染嚴(yán)重,我們利用真空鍍膜原理,利用磁控濺射和熱蒸發(fā)的鍍膜方式,輔助以高壓離子轟擊,在釹鐵硼材料上實(shí)現(xiàn)快速鍍制致密鋁膜,ES500設(shè)備的主要技術(shù)規(guī)格如下:
真空室尺寸 | L1000mm * H1000mm * W700mm |
均勻可鍍區(qū) | Ø600mm * 700mm |
極限真空度 | 3.0*10-4Pa |
壓升率 | 0.33Pa/hr(常態(tài)) |
冷卻水 | 5ton/hr |
占據(jù)空間 | 4.0*3.0*3.5m3 |
真空室 | 日韓304不銹鋼,雙層內(nèi)襯,五年質(zhì)保 |
抽氣系統(tǒng) | Leybold擴(kuò)散泵+Leybold粗抽泵+羅茨泵 |
真空檢測(cè) | SKY90復(fù)合真空計(jì) |
流量控制 | 七星華創(chuàng)7S-CS200數(shù)字流量計(jì)/Brooks/MKS/AE |
轉(zhuǎn)架 | 大網(wǎng)籠帶一次自轉(zhuǎn)和小網(wǎng)籠帶二次自轉(zhuǎn),保證工件之間無磕碰接觸 |
磁控濺射 | 柱狀濺射靶1套 |
蒸發(fā)舟 | 氮化硼蒸發(fā)舟5套 |
送絲機(jī)構(gòu) | 送絲速度可調(diào),保證不同的蒸發(fā)沉積速率 |
轟擊電源 | 最高可達(dá)3000V |
加熱系統(tǒng) | 最高300度,2根熱電偶監(jiān)測(cè) |
冷卻水循環(huán)系統(tǒng) | 配日本SMC水流開關(guān),智能控制 |
電氣元件 | 日本歐姆龍PLC、端子、施耐德等空開、接觸器 |
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