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eArctic AS510DMTXB
AS510DMTXB是專為硬質(zhì)合金刀片設(shè)計的一款PVD涂層設(shè)備，運用了GAMS多元涂層技術(shù)，GAMS運用了包括：GISETCH ：氣體離子刻蝕及輔助沉積技術(shù)、4G-CAE ：第四代陰極電弧技術(shù)、UBMS非平衡磁控濺射...<
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- 詳細(xì)介紹
AS510DMTXB是專為硬質(zhì)合金刀片等小尺寸產(chǎn)品設(shè)計的一款PVD涂層設(shè)備，運用了GAMS多元涂層技術(shù)，GAMS運用了包括：GISETCH®：氣體離子刻蝕及輔助沉積技術(shù)、4G-CAE®：第四代陰極電弧技術(shù)、UBMS非平衡磁控濺射技術(shù)和Smart Shutter智能源擋板技術(shù)，可以鍍制SINOX4系列五元合金（Al、Ti、Cr、Me、Si）氮氧化物涂層，技術(shù)規(guī)格如下：
| 真空室尺寸 | Ø800mm * H700mm |
| 均勻可鍍區(qū) | Ø500mm * H300mm |
| 極限真空度 | 3.0*E-4Pa |
| 壓升率 | 0.2Pa/hr |
| 冷卻水 | 6ton/hr |
| 占據(jù)空間 | 4.5*4.0*3.5 |
| 抽氣系統(tǒng) | 磁懸浮渦輪分子泵抽真空系統(tǒng) |
| 真空檢測 | 復(fù)合真空計+薄膜真空規(guī) |
| 工藝氣體MFC | 4路 |
| 轉(zhuǎn)架 | 可移出式下轉(zhuǎn)架（4軸、5軸、6軸、8軸任選） |
| 4G-CAE®第四代陰極電弧系統(tǒng) | 8套（4列） |
| UBMS非平衡磁控濺射系統(tǒng) | 2套 |
| GISETCH®氣體離子刻蝕及輔助沉積系統(tǒng) | 1套 |
| 偏壓電源 | 1套 |
| Smart智能源擋板 | 1套 |
| 加熱系統(tǒng) | 550度，3根熱電偶監(jiān)測 |
| 冷卻水循環(huán)系統(tǒng) | 配日本SMC水流開關(guān)，智能控制 |
| 自動控制 | IPC+PLC全自動控制 |
| 裝載量 | 1800片/爐（以Φ20*6mm規(guī)格刀片為例） |
| 生產(chǎn)運行周期 | SINX4系列和SINOX4系列涂層（3μm），5.5小時/爐 |
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