- 詳細介紹
AS2GX和AS4GX系列是專門針對眼鏡架等中小型產品設計的機型,該機型在客戶處經受了大規模生產和長期的考驗,特別是AS2GX系列設備,暢銷15年,具有很強的通用性,結構成熟、運行穩定、得到了市場和用戶的一致肯定,具體技術規格如下:
真空室尺寸 | Ø1250mm * H1000mm |
均勻可鍍區 | Ø1000mm * H650mm |
極限真空度 | 3.0*10-4Pa |
壓升率 | 0.33Pa/hr(常態) |
冷卻水 | 6ton/hr |
占據空間 | 4.5*4.0*3.5m3 |
真空室 | 日韓304不銹鋼,雙層內襯,五年質保 |
抽氣系統 | KYKY分子泵/Edwards/Leybold磁懸浮分子泵+Leybold粗抽泵+羅茨泵 |
真空檢測 | Inficond薄膜規+SKY90復合真空計 |
流量控制 | 七星華創7S-CS200數字流量計/Brooks/MKS/AE |
轉架 | 上吊裝轉架或可移出式下轉架任選 |
陰極電弧 | 最多2組(6套)CAE(靶材規格100*40) |
磁控濺射 | 最多2組(4套)柱狀或者平面濺射靶 |
氣體離子源 | 陽極層流型氣體離子源1套 |
偏壓電源 | AE Pinnacle Plus 10KW/ Huettinger 18KW |
智能源擋板 | 1套,實現鍍膜前的靶材預清洗 |
加熱系統 | 最高300度,2根熱電偶監測 |
冷卻水循環系統 | 配日本SMC水流開關,智能控制 |
電氣元件 | 日本歐姆龍PLC、端子、施耐德等空開、接觸器 |
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