問題 |
原因 |
解決方法 |
偏壓電源 | ||
【ON】按鈕不工作 |
1、總配電柜上空開未閉合 |
1、將其閉合 |
電壓不可調 |
1、系統控制板(A1)接線端子虛接 |
1、檢查并擰緊 |
電源脈沖占空比不可調 |
1、系統控制板(A1)接線端子虛接 |
1、檢查并擰緊 |
工件加熱器 | ||
【ON】按鈕不工作 |
1、總配電柜中的空開(Auto 1)未閉合 |
1、將其閉合 |
CAE電源 | ||
“ON”開關不工作 |
1、總配電柜中的空開未閉合 |
1、將其閉合 |
電壓輸出(空載)< 60 V |
1、總配電柜中的空開接觸不好,造成電源缺相 |
1、更換它 |
電流不可調 |
1、控制電纜連接失敗 |
1、將它們裝好 |
蒸發源不引弧 |
1、引弧針未挨著Ti塊 |
1、調整引弧針位置 |
真空泵系統 | ||
真空泵未開啟 |
1、中央控制柜上的空開(AUT1)未開 |
1、將其閉合 |
抽真空時間太長 |
1、空氣太潮濕 |
1、當真空室打開時保持加熱狀態 |
真空閥不動 |
1、沒有壓縮空氣 |
1、檢查壓縮器和管道 |
供氣系統 | ||
“ON”開關未開啟 |
1、復合真空計未開 2、真空度未到 3、從控制柜到真空室底架右側的電纜沒插好 4、從系統控制板(A1)板到控制面板的電纜沒插好 5、控制柜中的+5V 和+15V DC電源損壞 |
1、首先開啟真空計 2、等待真空度到達 3、將其插好 4、將其插好 5、檢查直流電源(B2和C)和電源線端子 |
氣體質量流量不可調 |
1、控制電纜連接失敗 2、氣路手動球閥關閉 3、氣體用完 4、氣體質量流量控制閥失去控制 5、控制柜中的氣體質量流量控制電路板損壞 6、真空電磁閥損壞 |
1、找出并糾正 2、檢查并打開 3、檢查并更換氣瓶 4、檢查并更換 5、檢查并更換 6、檢查并更換 |
中央控制系統 |
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按下【SYSTEM ON】不上電 |
1、總配電柜中的空開(Auto1)未閉合 2、中央控制柜前門上方的空開(AUT1)未閉合 3、系統控制板A1和功率輸出板A2間端子問題 4、功率輸出板A2內的UPS未啟動 5、中央控制柜的控制面板門未關好 6、功率輸出板A2內的FUSE熔斷器問題 |
1、閉合空開 2、閉合空開 3、檢查并接好 4、啟動UPS 5、關好控制面板門 6、檢查并更換 |
【RECYCLE】不能啟動自動鍍膜程序 |
1、系統處于“MANU”狀態,“MANU”顯示亮 2、前門未關 3、系統仍有報警 |
1、轉至“AUTO”狀態 2、關好門 3、解決所有報警問題 |
上位計算機(IPC) |
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計算機不工作 |
1、系統沒有上電 2、中央控制柜內UPS沒有工作 3、功率輸出板A2內的FUSE熔斷器問題 4、電源線問題 |
1、啟動設備系統 2、啟動UPS 3、檢查并更換 4、計算機電源必須插在專用的插座上 |
點擊設備上位機監控軟件不能啟動 |
1、系統沒有上電 2、RS-232 電纜未插好 |
1、啟動設備系統 2、插好電纜 |