DLC涂層結構圖
DLC(Diamond Like Carbon)涂層又叫類金剛石涂層,它是一種新型的硬質潤滑功能涂層材料,具有SP2和SP3電子軌道雜化的碳原子空間網絡結構,通常為非晶態或非晶-納米晶復合結構。DLC涂層具有較高的硬度、優異的減摩耐磨性能、高熱導率、低介電常數、寬帶隙、良好的光學透過性以及優異的化學惰性和生物兼容性等,在機械、電子、光學、裝飾外觀保護、生物醫學等領域有著廣闊的應用前景。DLC涂層適合于磨損和滑動的環境下,在沒有任何潤滑介質的條件下,可以降低摩擦損耗,可以用于汽車發動機零部件(燃油噴射系統、動力傳動系統)、軸承、滾輪、紡織機械、飛行等眾多領域。
DLC薄膜的制備方法有多種,目前常用的主要有物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)以及液相法等。我公司利用GIMS®氣體離子源增強磁控濺射技術制備DLC涂層,向GIS離子源中通入C2H2或CH4等含C氣體,GIS放電后分解和離化出C原子和H原子,制備DLC涂層,同時啟動MS濺射靶,鍍制出摻雜Ti、Cr、W等金屬的Me-DLC涂層,DLC涂層硬度2000HV,摩擦系數:0.1-0.2。
適用DLC涂層設備
鍍膜樣品示例


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