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真空PVD鍍膜涂層工藝基本步驟
發(fā)布時(shí)間：2018-04-03
前處理工藝
褪膜、噴砂、拋光、鈍化、清洗、裝夾
鍍膜工藝
抽真空、加熱烘烤、漏率測(cè)試、轟擊清洗、鍍膜、冷卻出爐
后處理工藝
清洗：確保鍍膜前產(chǎn)品表面的清潔，越新鮮的表面，越能保證鍍膜質(zhì)量；
抽真空：將真空室內(nèi)的殘余氣體抽走
加熱烘烤：爐體和工件同時(shí)加熱，加速殘余氣體的釋放
壓升率測(cè)試：測(cè)試爐體的漏氣率和放氣率
轟擊清洗：去除工件表面的雜志，露出新鮮表面
鍍膜：沉積膜層
冷卻：避免工件氧化變色
為什么要進(jìn)行冷卻？
鍍膜工藝完成后，真空室內(nèi)溫度高達(dá)500℃，如果不冷卻就放氣，沒(méi)有被鍍上膜的高溫工件表面會(huì)因?yàn)榕c空氣反應(yīng)氧化變成藍(lán)色。
冷卻如何進(jìn)行？
1. 高閥關(guān)閉，真空計(jì)關(guān)閉，真空室與泵組隔離；
2. 當(dāng)操作人員按下N2 vent按鈕，預(yù)先接好的氮?dú)鈺?huì)通過(guò)N2充氣閥充入真空室，當(dāng)真空室內(nèi)的壓力達(dá)到壓力開(kāi)關(guān)預(yù)設(shè)的壓力時(shí)，N2充氣閥關(guān)閉。
3. 真空室內(nèi)充入了大量N2，真空度很低，更加有利于熱傳導(dǎo)，所以降溫速度比不充冷卻N2時(shí)快很多，縮短冷卻時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，實(shí)際冷卻時(shí)間可由原來(lái)的90分鐘縮短為60分鐘。
4. 由于氦氣的熱傳導(dǎo)率更高，所以充入冷卻氦氣比氮?dú)饨禍厮俣雀欤浅杀疽哺摺?/div>
5. 國(guó)外設(shè)備快速冷卻程序，通過(guò)冷卻氣體的循環(huán)冷卻，能縮短冷卻時(shí)間50%。
為什么要進(jìn)行壓升率測(cè)試？
真空環(huán)境條件是影響最終涂層質(zhì)量最重要的因素。鍍膜前，必須進(jìn)行壓升率測(cè)試，以保證真空環(huán)境條件滿足鍍膜標(biāo)準(zhǔn)。
怎樣進(jìn)行壓升率測(cè)試？
在我們的自動(dòng)鍍膜工藝中，壓升率測(cè)試是自動(dòng)進(jìn)行。
當(dāng)真空室內(nèi)真空度達(dá)到工藝設(shè)定的本底真空后，進(jìn)入壓升率測(cè)試步驟。
系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)關(guān)閉高閥，此時(shí)真空室與泵組隔離，真空室內(nèi)壓力會(huì)升高。在一定時(shí)間內(nèi)（一般1分鐘），如果壓力不超過(guò)設(shè)定的報(bào)警值，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)進(jìn)行下一步程序，進(jìn)入鍍膜步驟。如果壓力超過(guò)設(shè)定的報(bào)警值，系統(tǒng)會(huì)有報(bào)警提示，此時(shí)，操作人員應(yīng)按照操作流程，再次進(jìn)行抽真空和加熱烘烤，然后重復(fù)進(jìn)行壓升率測(cè)試，直至壓升率滿足鍍膜條件。
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